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LED系列-全自动**清洗台 1 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式; 2 清洗规格: 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette; 3 设备形式: 室内放置型; 4 尺寸(参考,含地脚):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000 mm(H); 5 工艺说明:全程机械传动,自动方式实现槽体间传送工件全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,**产品性能的一致性; 6 腐蚀工艺自动补药液**了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性; 7 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定; 8机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。 9臂的横向移动和纵向提升均采用进口伺服马达,闭环控制,定位精度≤0.3mm,**性高; 10采用双导轨结构及线性模块传动,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳。 11为确保清洗工艺和机械手的使用寿命,机械手由多种工业材料和特殊的表面处理构成。